АР02-4030

    Прусаков, Е. В.
    Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Е. В. Прусаков. - М., 2001. - 23 с. + 100 экз.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т). Библиогр.: с. 22-23(10 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)