АР02-сф134     Кузьминых, С. А.     Высокотемпературный плазмохимический гидролиз тетрафторида кремния, содержащегося в сбросных газах производства фтороводорода [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.17.02 / С. А. Кузьминых. - Северск, 2000. - 24 с. : ил. Библиогр.: с. 22-23(11 назв.) ГРНТИ 61.31.39 31.17.15 УДК 661.487(043) 546.28'161(043) Экземпляры всего 1: СФ (1) Свободны: СФ (1)