|
|
АР02-852
Крючков, Ю. И.
Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :01.04.05 / Ю. И. Крючков. - Новосибирск, 2001. - 32 с. : ил.
Библиогр.: с. 30-32(24 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|