|
|
АР01-7010
Ефимов, А. А.
Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.14 / А. А. Ефимов. - СПб., 2001. - 20 с. : ил.
Библиогр.: с. 19-20(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|