|
|
АР01-2792
Семенова, О. В.
Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.03.01 / О. В. Семенова. - Красноярск, 2000. - 23 с. : ил.
Библиогр.:с. 21-23(20 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|