|
|
АР00-9774
Кеменов, В. Н.
Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук: 05.27.07 / В. Н. Кеменов. - М., 2000. - 42 с. : ил
Библиогр.:с. 39-42 (53 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|