|
|
АР00-8551
Гвоздев, В. В.
Исследование магнетронных распылительных систем с жидкометаллическим катодом с целью увеличения производительности и снижения энергозатрат процесса катодного распыления [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.14 / В. В. Гвоздев. - М., 1999. - 16 с. : ил.
Библиогр.:с. 16
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|