|
|
АР00-4670
Рыбачек, Е. Н.
Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01 / Е. Н. Рыбачек. - М., 1998. - 27 с. : ил.
Библиогр.:с. 25-27(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|