|
|
АР00-сф131
Шумский, И. А.
Исследование и разработка конструкции и технологии КНИ-элементов интегральных микросистем на основе рекристаллизованного поликремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01 / И. А. Шумский. - М., 1999. - 26 с. : ил.
Библиогр.:с. 23-26(19 назв.)
Экземпляры всего 1: сф (1)
Свободны: сф (1)
|
|