|
|
АР00-сф69
Стафеев, С. К.
Комплекс методов и средств оптического неразрушающего контроля материалов микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.11.07 / С. К. Стафеев. - СПб, 1999. - 38 с. : ил.
В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.:с. 35-38(45 назв.)
Экземпляры всего 1: сф (1)
Свободны: сф (1)
|
|