|
|
АР00-500
Чумаков, С. Н.
Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.20 / С. Н. Чумаков. - Новосибирск, 1999. - 10 с.
В надзаг. :Ин-т ядерной физики им.Г.И.Будкера СО РАН. Библиогр.:с. 9-10(7 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|