|
|
АР99-сф194
Чуканов, С. В.
Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. В. Чуканов. - М., 1999. - 24 с.
В надзаг. :Моск. гос. ин-т электронной техники (техн. ун-т). Библиогр.:с. 24(5 назв.)
Экземпляры всего 1: сф (1)
Свободны: сф (1)
|
|