АР99-сф110     Акулинин, С. А.     Деградационные процессы в тонкопленочных компонентах интегральных схем и их влияние на качество и надежность [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / С. А. Акулинин. - Воронеж, 1999. - 30 с. Библиогр.:с. 25-30(58 назв.) ГРНТИ 47.33.31 47.13.23 УДК 621.3.049.77.004.6(043) 621.396.6.019.3(043) Экземпляры всего 1: сф (1) Свободны: сф (1)