|
|
АР94-0566
Зайцев, Н. А.
Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 06.27.01 / Н. А. Зайцев. - М., 1994. - 51 с
В надзаг.: Моск. гос. ун-т электрон. техники (Техн. ун-т). Библиогр.:с.44-51 (62 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|