|
|
АР99-1543
Ефремов, М. Д.
Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / М. Д. Ефремов. - Новосибирск, 1998. - 16 с.
В надзаг. :Рос.АН. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников.Библиогр.:с.16(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|