|
|
АР99-353
Сингаевский, И. Ф.
Физический механизм формирования электронного энергетического спектра приэлектродной плазмы емкостного ВЧ разряда низкого давления [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.08 / И. Ф. Сингаевский. - М., 1998. - 26 с. : ил.
В надзаг. :МГУ им.М.В.Ломоносова,Физ.фак. Библиогр.:с. 24-26 (17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|