|
|
АР99-270
Резвый, Р. Р.
Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники [Текст] : диссертация в виде науч.докл.на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.10 / Р. Р. Резвый. - М., 1998. - 65 с. : ил.
В надзаг. : Гос.унитарн.предприятие"Науч.-произв.предприятие"Пульсар" и АО открытого типа "НИИ микроэлектроники и нанотехнологии"Дельта".Библиогр.:с. 58-65(69 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|