|
|
АР98-5309
Марголин, В. И.
Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектроникне [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин. - СПб, 1998. - 29 с. : ил.
Библиогр.:с. 22-29
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|