|
|
АР98-4539
Гайнуллина, Н. Р.
Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21 / Н. Р. Гайнуллина. - Казань, 1998. - 15 с.
Библиогр.:с. 13-15(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|