|
|
АР98-4413
Балашов, В. Н.
Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / В. Н. Балашов. - М., 1998. - 39 с. : ил.
Библиогр.:с. 37-39(29 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|