АР98-4394     Бутусов, И. Ю.     Неразрушающий электрический контроль структур SiO -Si в производстве МОП-транзисторов и МОП БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / И. Ю. Бутусов. - Воронеж, 1998. - 18 с. : ил. Библиогр.:с. 17-18(12 назв.) ГРНТИ 47.13.11 УДК 621.382.323.002:658.562(043) 621.3.049.77.002(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)