|
АР98-4394
Бутусов, И. Ю. Неразрушающий электрический контроль структур SiO -Si в производстве МОП-транзисторов и МОП БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / И. Ю. Бутусов. - Воронеж, 1998. - 18 с. : ил. Библиогр.:с. 17-18(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|