|
АР98-098
Раченкова, А. В. Исследование причин дефектообразования в процессе производства пластин кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Раченкова. - М., 1998. - 23 с. : ил. Библиогр.:с. 21-23(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|