|
|
АР98-043
Суровцев, И. С.
Высокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / И. С. Суровцев. - Воронеж, 1998. - 82 с. : ил.
В надзаг. :Воронеж.гос.техн.ун-т. Библиогр.:с. 72-82 (81 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|