|
|
АР98-2253
Семин, Ю. Ф.
Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин. - М., 1998. - 16 с. : ил.
Библиогр.:с.14-16 (24 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|