|
|
АР97-096
Фартушная, В. М.
Оптимизация режимов магнетронного осаждения пленок оксидов металлов для устройств функциональной микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. М. Фартушная. - М., 1996. - 22 с. : ил.
Библиогр.:с. 22(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|