|
|
АР97-054
Сырчин, В. К.
Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. К. Сырчин. - М., 1997. - 41 с.ил.
Библиогр.:с. 36-40(46 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|