АР97-08     Терещенко, А. М.     Моделирование аэротермодинамических процессов в чистых помещениях при производстве интегральных схем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07:05.27.01 / А. М. Терещенко. - М., 1996. - 33 с. : ил. Библиогр.:с. 31-33(15 назв.) ГРНТИ 47.13.11 75.31.25 УДК 621.382.002(043) 697.9(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)