АР96-0298

    Белянина, Е. В.
    Влияние циркония на важнейшие структурные и электрофизические характеристики полупроводникового кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / Е. В. Белянина. - М., 1996. - 27 с. : ил
Библиогр.:с. 25-27(14 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)