|
|
АР96-5134
Хамаев, В. А.
Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.17.03 / В. А. Хамаев. - М., 1996. - 32 с. : ил
Библиогр.:с. 29-32 (41 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|