|
|
АР96-0242
Громов, Д. Г.
Исследование и разработка технологии получения термостабильных слабопроникающих контатктных систем кремниевых ИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Д. Г. Громов. - М., 1996. - 25 с. : ил
Библиогр.:с. 24-25 (14 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|