|
|
АР96-2623
Илларионов, О. И.
Статистическое регулирование технологических процессов изготовления микроэлектронных устройств [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук: 05.12.13 / О. И. Илларионов. - СПб, 1996. - 29 с.
В надзаг. : С.-Петербург. акад. аэрокосм. приборостроения. Библиогр.:с. 29-30(22 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|