|
|
АР96-1731
Борзенко, Т. Б.
Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / Т. Б. Борзенко. - Черноголовка, 1996. - 20 с. : ил
Библиогр.:с. 19-20(14назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|