|
|
АР94-5526
Левенец, В. В.
Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Левенец. - М., 1994. - 19 с. : ил
В надзаг.:НИИ физ. пробл.им.Ф.В.Лукина.Библиогр.:с.19(6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|