АР94-5445

    Бейсенханов, Н. Б.
    Исследование структурных свойств приповерхностного слоя кремния имплантированного высокими дозами углерода [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Н. Б. Бейсенханов. - Алматы, 1994. - 22 с.
В надзаг.:Ин-т физики высоких энергий.Библиогр.:с.21-22(11 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)