АР95-6331     Ухов, А. А.     Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов. - СПб, 1995. - 14 с. Библиогр.: с.13-14(10 назв.) ГРНТИ 47.33.31 УДК 621.3.049.77.002(043) 621.3.049.76-416(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)