|
АР95-6331
Ухов, А. А. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов. - СПб, 1995. - 14 с. Библиогр.: с.13-14(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|