|
|
АР95-6147
Злотникова, И. Я.
Теоретическое и экспериментальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. Я. Злотникова. - Воронеж, 1995. - 16 с. : ил
В надзаг.: Воронеж.гос.ун-т. Библиогр.: с.16(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|