|
|
АР95-6003
Одиноков, В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,07.27.07 / В. В. Одиноков. - М., 1995. - 32 с. : ил
В надзаг.: НИИ точного машиностроения. Библиогр.: с.30-32(33 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|