|
|
АР95-5698
Борун, А. Ф.
Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. Ф. Борун. - М., 1995. - 30 с. : ил
В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). Библиогр.:с.29-30 (7 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|