|
|
АР95-085
Михайлов, В. П.
Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. П. Михайлов. - М., 1995. - 16 с. : ил
Библиогр.: с.14-16(13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|