|
АР95-074
Сапеко, Н. Н. Исследование и разработка транспортных систем для сверхвысоковакуумного сборочного оборудования [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.07:05.27.07 / Н. Н. Сапеко. - М., 1995. - 16 с. : ил Библиогр.: с.15-16 (13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|