АР95-074

    Сапеко, Н. Н.
    Исследование и разработка транспортных систем для сверхвысоковакуумного сборочного оборудования [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.07:05.27.07 / Н. Н. Сапеко. - М., 1995. - 16 с. : ил
Библиогр.: с.15-16 (13 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)