|
|
АР95-2999
Кузмичев, А. В.
Исследование процессов импульсивного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.21 / А. В. Кузмичев. - М., 1995. - 23 с. : ил
В надзаг.: Рос. АН. Ин-т общ. физики. Библиогр.: с.23 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|