|
|
АР94-0353
Падеров, В. П.
Исследование границы раздела диэлектрик-полупроводник с целью разработки плазмохимического процесса для формирования МДП структур на соединениях А В [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. П. Падеров. - М., 1994. - 23 с. : ил
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники (техн.ун-т). Библиогр.: с.22-23(14 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|