|
|
АР95-1076
Кононенко, О. В.
Структура и свойства пленок металлов и полуметаллов, полученных методом частично ионизированного потока с высокой эффективностью ионизации [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / О. В. Кононенко. - Черноголовка, 1994. - 18 с.
В надзаг.: Рос.АН,Ин-т пробл.технологии микроэлектроники и особочистых материалов. Библиогр.: с.17-18(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|