|
|
Ар14-12687
Фадеев, А. В.
Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / А. В. Фадеев. - М., 2014. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22. - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- низкотемпературная плазма -- эмиссионная томография
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|