|
|
Ар14-10184
Зайцев, А. А.
Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт-литографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. А. Зайцев. - М., 2014. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22 (13 назв.). - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные):
транзисторы свч -- наноимпринт-литография
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|