|
|
АР95-704
Радаев, А. А.
Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Радаев. - 1994. - 20 с. : ил
В надзаг.: Моск.энерг.ин-т (техн.ун-т). Библиогр.: с.19-20 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|