|
|
Ар14-1939
Гуськова, О. П.
Механизмы влияния ионной имплантации кремния, германия и фтора на свойства композиции SiO2/Si при воздействии ионизирующего излучения [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / О. П. Гуськова. - Н.Новгород, 2013. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-18. - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные):
моп-структуры -- влияние ионизирующих излучений -- ионная имплантация примесей
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|