|
|
Ар14-2188
Манкелевич, Ю. А.
Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок: многомерные модели химических реакторов [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.08 / Ю. А. Манкелевич. - М., 2013. - 31 с. : ил. - Библиогр.: с. 27-31 . - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные):
алмазные пленки -- синтез -- газофазное химическое осаждение -- моделирование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|