|
Ар13-17855
Демин, М. В. Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / М. В. Демин. - М., 2013. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (11 назв.)
Кл.слова (ненормированные): токопленочные материалы -- карбидокремниевая технология -- газовая среда -- мониторинг
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|