|
|
Ар14-79
Матасов, М. Д.
Влияние спектрального состава света и фазового полупроводниковой мишени на вторично-ионный фотоэффект [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / М. Д. Матасов. - Саратов, 2013. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16 . - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные):
фотоионизация -- полупроводники -- травление -- легирование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|